一种高精度ccd定位曝光装置

专利摘要:
本实用新型涉及曝光装置技术领域，公开了一种高精度CCD定位曝光装置，包括机架，机架上安装有曝光箱盖与曝光箱，曝光箱盖与曝光箱通过紧密贴合机构相连接；紧密贴合机构包括框型的密封条，密封条设置在曝光箱盖与曝光箱之间，且密封条固定连接在曝光箱的箱顶，曝光箱的箱壁上固定连接有一端密封设置的吸气管，吸气管的管底连通有出气管，密封条的一侧连通有进气管，进气管和出气管通过导气管相连通，吸气管的内管壁上密封滑动连接有活塞，位于吸气管下方的曝光箱箱壁上固定连接有驱动电机。本实用新型曝光箱盖合在曝光箱上，密封条、曝光箱盖和曝光箱形成空间内的气压降低，曝光箱盖和曝光箱之间连接的更加紧密，提高了曝光精度。
公开号:CN214335463U
申请号:CN202022876154.0U
申请日:2020-12-02
公开日:2021-10-01
发明作者:江洪波；山口泰司；河野豊；夏勇军
申请人:Guangzhou Kyosha Circuit Technology Co ltd；
IPC主号:G03F7-20

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及曝光装置技术领域，尤其涉及一种高精度CCD定位曝光装置。
[n0002] 高精度CCD定位曝光装置主要用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。但是曝光装置的曝光箱盖与曝光箱不能做到紧密贴合，导致曝光精度不够。
[n0003] 本实用新型的目的是为了解决现有技术中曝光装置的曝光箱盖与曝光箱不能做到紧密贴合，导致曝光精度不够的问题，而提出的一种高精度CCD定位曝光装置。
[n0004] 为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
[n0005] 一种高精度CCD定位曝光装置，包括机架，所述机架上安装有曝光箱盖与曝光箱，所述曝光箱盖与曝光箱通过紧密贴合机构相连接；
[n0006] 所述紧密贴合机构包括框型的密封条，所述密封条设置在曝光箱盖与曝光箱之间，且密封条固定连接在曝光箱的箱顶，所述曝光箱的箱壁上固定连接有一端密封设置的吸气管，所述吸气管的管底连通有出气管，所述密封条的一侧连通有进气管，所述进气管和出气管通过导气管相连通，所述吸气管的内管壁上密封滑动连接有活塞，位于所述吸气管下方的曝光箱箱壁上固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆的杆壁上螺纹连接有螺母，所述螺母的下端环形侧壁上固定连接有呈“L”型的传动板，所述活塞远离进气管的一端中心处固定连接有传动杆，所述传动杆的另一端穿过吸气管的管口并固定连接在传动板的对应竖直端上。
[n0007] 优选的，所述吸气管靠近管口一端位置的内管壁上固定连接有限位环，所述传动杆穿过限位环设置，且传动杆与限位环滑动连接。
[n0008] 优选的，所述活塞的环形侧壁上开设有环形的活塞槽，所述活塞槽内套设有活塞环，所述活塞环的外环壁设置在吸气管的内管壁上。
[n0009] 优选的，所述传动杆的杆壁上沿水平直线方向设有刻度值。
[n0010] 优选的，所述导气管的管壁上安装有气压表。
[n0011] 优选的，所述螺纹杆靠近驱动电机一端位置的杆壁上固定套接有扇叶。
[n0012] 与现有技术相比，本实用新型提供了一种高精度CCD定位曝光装置，具备以下有益效果：
[n0013] 该高精度CCD定位曝光装置，通过设置紧密贴合机构，曝光箱盖合在曝光箱上，通过密封条提高了曝光箱盖和曝光箱之间的密封性，再启动驱动电机正转，带动活塞在吸气管内向远离进气管的方向运动，通过导气管和出气管将密封条、曝光箱盖和曝光箱形成空间里的空气抽出并运输到吸气管中，密封条、曝光箱盖和曝光箱形成空间内的气压降低，曝光箱盖和曝光箱之间连接的更加紧密，提高了曝光精度。
[n0014] 该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型曝光箱盖合在曝光箱上，密封条、曝光箱盖和曝光箱形成空间内的气压降低，曝光箱盖和曝光箱之间连接的更加紧密，提高了曝光精度。
[n0015] 图1为本实用新型提出的一种高精度CCD定位曝光装置的结构示意图；
[n0016] 图2为图1中A部分的放大图。
[n0017] 图中：1、机架；2、曝光箱盖；3、曝光箱；4、吸气管；5、出气管；6、进气管；7、导气管；8、活塞；9、驱动电机；10、螺纹杆；11、螺母；12、传动板；13、传动杆；14、限位环；15、活塞槽；16、活塞环；17、刻度值；18、气压表；19、扇叶；20、密封条。
[n0018] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
[n0019] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[n0020] 参照图1-2，一种高精度CCD定位曝光装置，包括机架1，机架1上安装有曝光箱盖2与曝光箱3，曝光箱盖2与曝光箱3通过紧密贴合机构相连接；
[n0021] 紧密贴合机构包括框型的密封条20，密封条20设置在曝光箱盖2与曝光箱3之间，且密封条20固定连接在曝光箱3的箱顶，曝光箱3的箱壁上固定连接有一端密封设置的吸气管4，吸气管4的管底连通有出气管5，密封条20的一侧连通有进气管6，进气管6和出气管5通过导气管7相连通，吸气管4的内管壁上密封滑动连接有活塞8，位于吸气管4下方的曝光箱3箱壁上固定连接有驱动电机9，驱动电机9的输出端通过联轴器连接有螺纹杆10，螺纹杆10的杆壁上螺纹连接有螺母11，螺母11的下端环形侧壁上固定连接有呈“L”型的传动板12，活塞8远离进气管6的一端中心处固定连接有传动杆13，传动杆13的另一端穿过吸气管4的管口并固定连接在传动板12的对应竖直端上，曝光箱盖2合在曝光箱3上，通过密封条20提高了曝光箱盖2和曝光箱3之间的密封性，再启动驱动电机9正转，驱动电机9带动螺纹杆10正转，螺母11根据螺纹杆10的转动方向向远离进气管6的方向运动，螺母11运动时通过传动板12带动传动杆13同步运动，进而带动活塞8在吸气管4内向远离进气管6的方向运动，通过导气管7和出气管5将密封条20、曝光箱盖2和曝光箱3形成空间里的空气抽出并运输到吸气管4中，密封条20、曝光箱盖2和曝光3箱形成空间内的气压降低，直至螺母11运动到螺纹杆10上的螺纹尽头，随后关闭驱动电机9，曝光箱盖2和曝光箱3之间连接的更加紧密，提高了曝光精度；当需要打开曝光箱盖2上，启动驱动电机9反转，使得密封条20、曝光箱盖2和曝光箱3形成空间内的气压恢复平衡，可正常打开曝光箱盖2。
[n0022] 吸气管4靠近管口一端位置的内管壁上固定连接有限位环14，传动杆13穿过限位环14设置，且传动杆13与限位环14滑动连接，通过限位环14防止活塞8从吸气管4中脱离。
[n0023] 活塞8的环形侧壁上开设有环形的活塞槽15，活塞槽15内套设有活塞环16，活塞环16的外环壁设置在吸气管4的内管壁上，通过活塞环16提高了活塞8和吸气管4之间的气密性。
[n0024] 传动杆13的杆壁上沿水平直线方向设有刻度值17，传动杆13在限位环14中运动时，通过刻度值17的变化可以明确清晰的得知活塞8在吸气管4中运动的距离。
[n0025] 导气管7的管壁上安装有气压表18，通过气压表18可以清晰的对导气管7中气压进行实时显示。
[n0026] 螺纹杆10靠近驱动电机9一端位置的杆壁上固定套接有扇叶19，驱动电机9带动螺纹杆10转动时，带动扇叶19同步转动，扇叶19转动时加快驱动电机9周边空气的流动，提高了对驱动电机9的散热效果。
[n0027] 本实用新型中，曝光箱盖2合在曝光箱3上，通过密封条20提高了曝光箱盖2和曝光箱3之间的密封性，再启动驱动电机9正转，驱动电机9带动螺纹杆10正转，螺母11根据螺纹杆10的转动方向向远离进气管6的方向运动，螺母11运动时通过传动板12带动传动杆13同步运动，进而带动活塞8在吸气管4内向远离进气管6的方向运动，通过导气管7和出气管5将密封条20、曝光箱盖2和曝光箱3形成空间里的空气抽出并运输到吸气管4中，密封条20、曝光箱盖2和曝光3箱形成空间内的气压降低，直至螺母11运动到螺纹杆10上的螺纹尽头，随后关闭驱动电机9，曝光箱盖2和曝光箱3之间连接的更加紧密，提高了曝光精度；当需要打开曝光箱盖2上，启动驱动电机9反转，使得密封条20、曝光箱盖2和曝光箱3形成空间内的气压恢复平衡，可正常打开曝光箱盖2。
[n0028] 以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

权利要求:
Claims (6)
[0001] 1.一种高精度CCD定位曝光装置，包括机架(1)，所述机架(1)上安装有曝光箱盖(2)与曝光箱(3)，其特征在于，所述曝光箱盖(2)与曝光箱(3)通过紧密贴合机构相连接；
所述紧密贴合机构包括框型的密封条(20)，所述密封条(20)设置在曝光箱盖(2)与曝光箱(3)之间，且密封条(20)固定连接在曝光箱(3)的箱顶，所述曝光箱(3)的箱壁上固定连接有一端密封设置的吸气管(4)，所述吸气管(4)的管底连通有出气管(5)，所述密封条(20)的一侧连通有进气管(6)，所述进气管(6)和出气管(5)通过导气管(7)相连通，所述吸气管(4)的内管壁上密封滑动连接有活塞(8)，位于所述吸气管(4)下方的曝光箱(3)箱壁上固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端通过联轴器连接有螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)的杆壁上螺纹连接有螺母(11)，所述螺母(11)的下端环形侧壁上固定连接有呈“L”型的传动板(12)，所述活塞(8)远离进气管(6)的一端中心处固定连接有传动杆(13)，所述传动杆(13)的另一端穿过吸气管(4)的管口并固定连接在传动板(12)的对应竖直端上。
[0002] 2.根据权利要求1所述的一种高精度CCD定位曝光装置，其特征在于，所述吸气管(4)靠近管口一端位置的内管壁上固定连接有限位环(14)，所述传动杆(13)穿过限位环(14)设置，且传动杆(13)与限位环(14)滑动连接。
[0003] 3.根据权利要求1所述的一种高精度CCD定位曝光装置，其特征在于，所述活塞(8)的环形侧壁上开设有环形的活塞槽(15)，所述活塞槽(15)内套设有活塞环(16)，所述活塞环(16)的外环壁设置在吸气管(4)的内管壁上。
[0004] 4.根据权利要求1所述的一种高精度CCD定位曝光装置，其特征在于，所述传动杆(13)的杆壁上沿水平直线方向设有刻度值(17)。
[0005] 5.根据权利要求1所述的一种高精度CCD定位曝光装置，其特征在于，所述导气管(7)的管壁上安装有气压表(18)。
[0006] 6.根据权利要求1所述的一种高精度CCD定位曝光装置，其特征在于，所述螺纹杆(10)靠近驱动电机(9)一端位置的杆壁上固定套接有扇叶(19)。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202022876154.0U|CN214335463U|2020-12-02|2020-12-02|一种高精度ccd定位曝光装置|CN202022876154.0U| CN214335463U|2020-12-02|2020-12-02|一种高精度ccd定位曝光装置|